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gaala新蟲 (小有名氣)
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[求助]
怎么去除薄膜表面的含氟聚合物？ 已有1人參與
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各位大俠，我是做MEMS/NEMS的，來高分子版塊請教哈：我打算拿Kapton的一款薄膜做flexible substrate，但是發(fā)現(xiàn)該薄膜表面有一層含氟聚合物（查的數(shù)據(jù)手冊，叫做fluorocarbon resin），而又發(fā)現(xiàn)該層含氟聚合物是疏水的，所以我光刻的時候，沒辦法涂膠上去的啊，不知道我應(yīng)該怎么處理呢？ 還望不吝賜教！ 謝謝啦！ |
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2樓2014-04-04 13:27:16
gaala
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3樓2014-04-07 02:57:10
userhung
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【答案】應(yīng)助回帖
參考一下~~~~~~~~~~~~~~~~~ http://www.docin.com/p-119836659.html http://www.doc88.com/p-293590555773.html http://wenku.baidu.com/view/94319ed2240c844769eaee53.html |
4樓2014-04-07 08:19:01
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