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[求助]
Al膜方阻測量。 已有3人參與
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Al的電阻率是2.83*10-6Ω·cm，理論計算Al薄膜厚度為3um時的方阻值為0.943mΩ/□（計算方法：電阻率/薄膜厚度），測量Al靶材的方阻8mΩ/□左右，Al靶材的厚度為6mm。 我用磁控濺射制備3um厚度的Al薄l膜，基底是玻璃，用四探針測量其方阻值為50mΩ左右，與理論值差距太大了，不知道是我理論計算有問題還是靶材有問題，求高人指教！ |
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4樓2014-04-14 13:32:28
5樓2014-04-14 14:22:05
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