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李天辰木蟲 (正式寫手)
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[交流]
VLSI grade 是什么 已有1人參與
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超大規(guī)模集成電路級？ All cleaning reagents and HF were of VLSI grade and supplied by Merck. 怎么譯？不知道cleaning啥意思。 |
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大規(guī)模集成電路級別 所有清洗試劑和氫氟酸都是大規(guī)模集成電路級別的，由默克公司提供 cleaning是清洗的意思，用各種純度的酸來清洗及刻蝕集成電路用，所以，VLSI grade只是其中一個級別純度的而已 超大規(guī)模集成電路級是ULSI（Ultra-Large-scale integration） 可以參考： 電子級(semiconductor grade)的酸，如硝酸，硫酸，氫氟酸等，適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所用產(chǎn)品的清洗和蝕刻以及痕量金屬元素殘留分析。 根據(jù)質(zhì)控的金屬元素含量的數(shù)量和含量又分為四個級別：MOS級，VLSI級，ULSI級和SLSI級 （1）MOS級（EL級）：優(yōu)于美國SEME C1標準，控制1μm顆粒，控制十多個金屬元素，單項金屬元素雜質(zhì)控制在100PPb左右 （2）VLSI級：介于EL與UL之間，控制0.5μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素雜質(zhì)控制在10~100PPb （3）ULSI級：等同于美國SEME C7標準，控制0.5、0.3μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素雜質(zhì)控制在10PPb以下 （4）SLSI級：等同于美國SEME C8標準，控制0.3μm顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素雜質(zhì)控制在1PPB以下 另外追加點金幣？呵呵 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
李天辰
2樓2014-04-27 21:52:12
李天辰
木蟲 (正式寫手)
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3樓2014-04-28 10:54:04
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