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李天辰木蟲 (正式寫手)
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[交流]
VLSI grade 是什么 已有1人參與
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超大規(guī)模集成電路級(jí)？ All cleaning reagents and HF were of VLSI grade and supplied by Merck. 怎么譯？不知道cleaning啥意思。 |
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李天辰
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
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- 在線: 111.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 1423574
- 注冊(cè): 2011-09-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 物理化學(xué)
送紅花一朵 
3樓2014-04-28 10:54:04
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大規(guī)模集成電路級(jí)別 所有清洗試劑和氫氟酸都是大規(guī)模集成電路級(jí)別的，由默克公司提供 cleaning是清洗的意思，用各種純度的酸來清洗及刻蝕集成電路用，所以，VLSI grade只是其中一個(gè)級(jí)別純度的而已 超大規(guī)模集成電路級(jí)是ULSI（Ultra-Large-scale integration） 可以參考： 電子級(jí)(semiconductor grade)的酸，如硝酸，硫酸，氫氟酸等，適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所用產(chǎn)品的清洗和蝕刻以及痕量金屬元素殘留分析。 根據(jù)質(zhì)控的金屬元素含量的數(shù)量和含量又分為四個(gè)級(jí)別：MOS級(jí)，VLSI級(jí)，ULSI級(jí)和SLSI級(jí) （1）MOS級(jí)（EL級(jí)）：優(yōu)于美國(guó)SEME C1標(biāo)準(zhǔn)，控制1μm顆粒，控制十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在100PPb左右 （2）VLSI級(jí)：介于EL與UL之間，控制0.5μm顆粒，控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10~100PPb （3）ULSI級(jí)：等同于美國(guó)SEME C7標(biāo)準(zhǔn)，控制0.5、0.3μm顆粒，控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10PPb以下 （4）SLSI級(jí)：等同于美國(guó)SEME C8標(biāo)準(zhǔn)，控制0.3μm顆粒，控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在1PPB以下 另外追加點(diǎn)金幣？呵呵 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
2樓2014-04-27 21:52:12
4樓2014-04-28 11:07:26
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