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[交流]
TEM薄膜截面樣品 離子減薄時(shí)中間破洞了但是膜還沒(méi)有斷 已有1人參與
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要看截面,Si片做陪片,薄膜為PVD鍍合金或陶瓷膜,硬度約20-40GPa 凹坑至40um左右,減薄4小時(shí)出現(xiàn)破洞,但中間的膜還連著,繼續(xù)減約一個(gè)小時(shí)才斷,但洞已經(jīng)很大了,膜的薄區(qū)不知道怎么樣,有一樣情況的嗎?這樣正常嗎? IMG_20140508_204028.jpg |
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