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[交流]
TEM薄膜截面樣品 離子減薄時(shí)中間破洞了但是膜還沒有斷 已有1人參與
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要看截面，Si片做陪片，薄膜為PVD鍍合金或陶瓷膜，硬度約20-40GPa 凹坑至40um左右，減薄4小時(shí)出現(xiàn)破洞，但中間的膜還連著，繼續(xù)減約一個(gè)小時(shí)才斷，但洞已經(jīng)很大了，膜的薄區(qū)不知道怎么樣，有一樣情況的嗎？這樣正常嗎？ IMG_20140508_204028.jpg |
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2樓2014-05-14 00:14:16
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