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Q版smile新蟲 (初入文壇)
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[交流]
XRD表征TaOx非晶薄膜
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求助各路大神： 我想用XRD驗(yàn)證常溫下磁控射頻反應(yīng)濺射的TaOx(元素比沒(méi)達(dá)到Ta2O5)薄膜是非晶的，襯底是100晶面的硅片，測(cè)試后用jade做出下面的圖： http:// ![\"XRD表征TaOx非晶薄膜\"](\"https://muchongimg.xmcimg.com/data/bcs/2014/0530/w277h1664087_1401419381_795.jpg#opennewwindow\") 測(cè)試條件是小射掠射，入射角1度，掃描范圍10-90度。 我有2個(gè)問(wèn)題： 1.能否證明我濺射的TaOx薄膜是非晶的，從圖上看哪個(gè)非晶包絡(luò)？ 2.0-20度的強(qiáng)度為什么很大？是小角掠射造成的嗎？ |
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