 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2739 | 回復(fù): 9 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
文盲森森新蟲 (正式寫手)
|
[求助]
求助光學(xué)曝光工藝，詳細(xì)的，最后必須很好的剝離 已有3人參與
|
||
|
本人在剝離光刻膠時遇到了難題，實(shí)驗(yàn)室用的是蘇州瑞紅的RFJ—220負(fù)性光刻膠，剝離液是瑞紅RBL—2304，請問應(yīng)該在勻膠機(jī)上選用多少轉(zhuǎn)數(shù)，在熱板上用多少度加熱多長時間，曝光時間多長適宜（我目前用110度90秒4000轉(zhuǎn)每分曝光七秒），然后在顯影定影后的基片上至少鍍上多厚的鍍層，最后也是最讓我頭疼的，如何去膠，網(wǎng)上有人說先將剝離液加熱到120度再自然冷卻到80恒溫剝離，但是卻沒有說明時間，而且我在這個溫度下剝離的也不太干凈，現(xiàn)在只好求好心人大發(fā)慈悲不吝賜教 [ 發(fā)自手機(jī)版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 導(dǎo)電物 |
» 猜你喜歡
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
無機(jī)化學(xué)論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有172人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達(dá)峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復(fù)
spiderman504
金蟲 (小有名氣)
- MN-EPI: 1
- 應(yīng)助: 30 (小學(xué)生)
- 金幣: 1213
- 紅花: 1
- 帖子: 147
- 在線: 35小時
- 蟲號: 3094198
- 注冊: 2014-03-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
【答案】應(yīng)助回帖
|
首先聲明，這個膠我沒用過，但瑞紅的RZJ-304正膠我試過。這個膠的膠厚比較薄，看你們買的膠的黏度選擇合適的轉(zhuǎn)速。熱板你先130度/110s，曝光量設(shè)個60mJ/cm2(你應(yīng)該是先測實(shí)際光強(qiáng)，在設(shè)的時間吧，所以時間我不知道。記得實(shí)驗(yàn)前光刻機(jī)先開半小時預(yù)熱。)后烘條件可以不用改，顯影時間真的不好說，靈活把握，甚至與你搖晃力度大小有關(guān)，總之不斷用鑷子撥動片子，直到?jīng)]有明顯的膠附著為止，然后去離子水和N2伺候。剝離的時候，常溫用丙酮也是要超聲的，你可以先超15分鐘丙酮，在15分鐘乙醇。肉眼很明顯還有大片金屬的話，那就繼續(xù)加長時間丙酮和乙醇超聲。 |
4樓2014-05-31 10:10:23
spiderman504
金蟲 (小有名氣)
- MN-EPI: 1
- 應(yīng)助: 30 (小學(xué)生)
- 金幣: 1213
- 紅花: 1
- 帖子: 147
- 在線: 35小時
- 蟲號: 3094198
- 注冊: 2014-03-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
|
轉(zhuǎn)速是根據(jù)你的膠厚確定的（膠厚又是根據(jù)你的選擇比來定的，膠厚：金屬層，膠厚是一定要大于金屬層厚度的。）。 熱板傳熱還比較快，但說明書上的溫度不是實(shí)際烘烤時的溫度，額個人經(jīng)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)時應(yīng)該在原來基礎(chǔ)上加個20度，時間加上20s ,曝光量量也加個20mJ/cm2.顯影時間加30s左右，以顯影干凈為準(zhǔn)。（一定要不停晃動片子，不然膠雖然溶解了但始終在片子中央散不開，還會影響你的線寬。完后去離子水沖洗，N2吹干。）。 可先拿個片子不蒸鍍金屬，試一試，看顯影效果怎么樣？ 用剝離液剝離是需要加熱的，沒錯。如果嫌麻煩不妨試試先丙酮后乙醇超聲，完后去離子水，N2吹干（只要你片子干凈，顯影干凈，蒸鍍金屬質(zhì)量好（先慢再快），你會發(fā)現(xiàn)強(qiáng)力吹風(fēng)十分給力，金屬嘩嘩往下掉）。超聲時間不好說，與你的片子表面處理有關(guān)，選擇比有關(guān)。一般的各20分鐘就差不多了，長的就30分鐘以上了。 |
2樓2014-05-31 08:43:27
文盲森森
新蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 2855.3
- 散金: 100
- 紅花: 1
- 帖子: 589
- 在線: 45.2小時
- 蟲號: 2091672
- 注冊: 2012-10-28
- 專業(yè): 力學(xué)中的基本問題和方法
3樓2014-05-31 09:05:19
5樓2014-05-31 21:52:25
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿北京理工大學(xué)本科211材料工程294求調(diào)劑 +7 | mikasa的圍巾 2026-03-28 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 南京大學(xué)化學(xué)調(diào)劑 +3 | 景隨風(fēng) 2026-03-29 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑考研 +3 | 王杰一 2026-03-29 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 289求調(diào)劑 +13 | 新時代材料 2026-03-27 | 13/650 |
|
|
|
[碩博家園] 求調(diào)劑 330分 085600材料與化工 +3 | gqhhh 2026-03-22 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 11408軟件工程求調(diào)劑 +3 | Qiu學(xué)ing 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 295材料工程專碩求調(diào)劑 +7 | 1428151015 2026-03-27 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿北化085600材料專碩275|有文章專利｜求調(diào)劑 +7 | Micky11223 2026-03-25 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 085602 化工專碩 338分 求調(diào)劑 +12 | 路癡小琪 2026-03-27 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +6 | 曼殊2266 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 277跪求調(diào)劑 +5 | 1915668 2026-03-27 | 9/450 |
|
|
|
[有機(jī)交流]
高溫高壓反應(yīng)求助
 10+4
|
chibby 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
|
[考博] 26申博 +3 | 加油沖��！ 2026-03-26 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 安徽大學(xué)專碩生物與醫(yī)藥專業(yè)(086000)324分，英語已過四六級，六級521，求調(diào)劑 +4 | 美味可樂雞翅 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 081200-11408-276學(xué)碩求調(diào)劑 +4 | 崔wj 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院-光纖傳感課題組招生-中國科學(xué)院大學(xué)、深圳理工大學(xué)聯(lián)培 +5 | YangTyu1 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研]
 085602 289分求調(diào)劑
+8
|
WWW西西弗斯 2026-03-24 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 0854電子信息求調(diào)劑 +7 | α____ 2026-03-22 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 生物學(xué)學(xué)碩求調(diào)劑 +7 | 小羊睡著了? 2026-03-23 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 300分，材料，求調(diào)劑，英一數(shù)二 +5 | 超贊的 2026-03-24 | 5/250 |
|