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文盲森森新蟲 (正式寫手)
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[求助]
求助光學曝光工藝，詳細的，最后必須很好的剝離 已有3人參與
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本人在剝離光刻膠時遇到了難題，實驗室用的是蘇州瑞紅的RFJ—220負性光刻膠，剝離液是瑞紅RBL—2304，請問應該在勻膠機上選用多少轉數(shù)，在熱板上用多少度加熱多長時間，曝光時間多長適宜（我目前用110度90秒4000轉每分曝光七秒），然后在顯影定影后的基片上至少鍍上多厚的鍍層，最后也是最讓我頭疼的，如何去膠，網(wǎng)上有人說先將剝離液加熱到120度再自然冷卻到80恒溫剝離，但是卻沒有說明時間，而且我在這個溫度下剝離的也不太干凈，現(xiàn)在只好求好心人大發(fā)慈悲不吝賜教 [ 發(fā)自手機版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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spiderman504
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【答案】應助回帖
感謝參與，應助指數(shù) +1
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轉速是根據(jù)你的膠厚確定的（膠厚又是根據(jù)你的選擇比來定的，膠厚：金屬層，膠厚是一定要大于金屬層厚度的。）。 熱板傳熱還比較快，但說明書上的溫度不是實際烘烤時的溫度，額個人經(jīng)驗，實驗時應該在原來基礎上加個20度，時間加上20s ,曝光量量也加個20mJ/cm2.顯影時間加30s左右，以顯影干凈為準。（一定要不�；蝿悠樱蝗荒z雖然溶解了但始終在片子中央散不開，還會影響你的線寬。完后去離子水沖洗，N2吹干。）。 可先拿個片子不蒸鍍金屬，試一試，看顯影效果怎么樣？ 用剝離液剝離是需要加熱的，沒錯。如果嫌麻煩不妨試試先丙酮后乙醇超聲，完后去離子水，N2吹干（只要你片子干凈，顯影干凈，蒸鍍金屬質量好（先慢再快），你會發(fā)現(xiàn)強力吹風十分給力，金屬嘩嘩往下掉）。超聲時間不好說，與你的片子表面處理有關，選擇比有關。一般的各20分鐘就差不多了，長的就30分鐘以上了。 |
2樓2014-05-31 08:43:27
文盲森森
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3樓2014-05-31 09:05:19
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【答案】應助回帖
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首先聲明，這個膠我沒用過，但瑞紅的RZJ-304正膠我試過。這個膠的膠厚比較薄，看你們買的膠的黏度選擇合適的轉速。熱板你先130度/110s，曝光量設個60mJ/cm2(你應該是先測實際光強，在設的時間吧，所以時間我不知道。記得實驗前光刻機先開半小時預熱。)后烘條件可以不用改，顯影時間真的不好說，靈活把握，甚至與你搖晃力度大小有關，總之不斷用鑷子撥動片子，直到?jīng)]有明顯的膠附著為止，然后去離子水和N2伺候。剝離的時候，常溫用丙酮也是要超聲的，你可以先超15分鐘丙酮，在15分鐘乙醇。肉眼很明顯還有大片金屬的話，那就繼續(xù)加長時間丙酮和乙醇超聲。 |
4樓2014-05-31 10:10:23
5樓2014-05-31 21:52:25
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