 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2745 | 回復: 9 | |||
| 當前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
文盲森森新蟲 (正式寫手)
|
[求助]
求助光學曝光工藝，詳細的，最后必須很好的剝離 已有3人參與
|
||
|
本人在剝離光刻膠時遇到了難題，實驗室用的是蘇州瑞紅的RFJ—220負性光刻膠，剝離液是瑞紅RBL—2304，請問應該在勻膠機上選用多少轉(zhuǎn)數(shù)，在熱板上用多少度加熱多長時間，曝光時間多長適宜（我目前用110度90秒4000轉(zhuǎn)每分曝光七秒），然后在顯影定影后的基片上至少鍍上多厚的鍍層，最后也是最讓我頭疼的，如何去膠，網(wǎng)上有人說先將剝離液加熱到120度再自然冷卻到80恒溫剝離，但是卻沒有說明時間，而且我在這個溫度下剝離的也不太干凈，現(xiàn)在只好求好心人大發(fā)慈悲不吝賜教 [ 發(fā)自手機版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
回復此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 導電物 |
» 猜你喜歡
化工學院（學院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復
-
化工學院（學院官方群）-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復
-
無機化學論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有283人回復
-
黑龍江大學分析化學招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復
-
紡大化工學院（官方群）-院士團隊招生-學生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復
-
溫州大學化材學院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復
-
學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復
-
武漢紡織大學化工學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-10余名學生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復
-
南昌航空大學蔣華麟教授課題組招收化學、環(huán)境、碳達峰碳中和及相關專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復
-
湖北師范大學復試調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復
靜靜一yi
捐助貴賓 (著名寫手)
靜靜
- 應助: 61 (初中生)
- 金幣: 1334.7
- 散金: 4327
- 紅花: 31
- 帖子: 1316
- 在線: 195.8小時
- 蟲號: 2025780
- 注冊: 2012-09-24
- 性別: MM
- 專業(yè): 半導體光電子器件
7樓2014-06-03 12:33:08
spiderman504
金蟲 (小有名氣)
- MN-EPI: 1
- 應助: 30 (小學生)
- 金幣: 1213
- 紅花: 1
- 帖子: 147
- 在線: 35小時
- 蟲號: 3094198
- 注冊: 2014-03-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體光電子器件
【答案】應助回帖
感謝參與，應助指數(shù) +1
|
轉(zhuǎn)速是根據(jù)你的膠厚確定的（膠厚又是根據(jù)你的選擇比來定的，膠厚：金屬層，膠厚是一定要大于金屬層厚度的。）。 熱板傳熱還比較快，但說明書上的溫度不是實際烘烤時的溫度，額個人經(jīng)驗，實驗時應該在原來基礎上加個20度，時間加上20s ,曝光量量也加個20mJ/cm2.顯影時間加30s左右，以顯影干凈為準。（一定要不�；蝿悠�，不然膠雖然溶解了但始終在片子中央散不開，還會影響你的線寬。完后去離子水沖洗，N2吹干。）。 可先拿個片子不蒸鍍金屬，試一試，看顯影效果怎么樣？ 用剝離液剝離是需要加熱的，沒錯。如果嫌麻煩不妨試試先丙酮后乙醇超聲，完后去離子水，N2吹干（只要你片子干凈，顯影干凈，蒸鍍金屬質(zhì)量好（先慢再快），你會發(fā)現(xiàn)強力吹風十分給力，金屬嘩嘩往下掉）。超聲時間不好說，與你的片子表面處理有關，選擇比有關。一般的各20分鐘就差不多了，長的就30分鐘以上了。 |
2樓2014-05-31 08:43:27
文盲森森
新蟲 (正式寫手)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 2855.3
- 散金: 100
- 紅花: 1
- 帖子: 589
- 在線: 45.2小時
- 蟲號: 2091672
- 注冊: 2012-10-28
- 專業(yè): 力學中的基本問題和方法
3樓2014-05-31 09:05:19
spiderman504
金蟲 (小有名氣)
- MN-EPI: 1
- 應助: 30 (小學生)
- 金幣: 1213
- 紅花: 1
- 帖子: 147
- 在線: 35小時
- 蟲號: 3094198
- 注冊: 2014-03-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體光電子器件
【答案】應助回帖
|
首先聲明，這個膠我沒用過，但瑞紅的RZJ-304正膠我試過。這個膠的膠厚比較薄，看你們買的膠的黏度選擇合適的轉(zhuǎn)速。熱板你先130度/110s，曝光量設個60mJ/cm2(你應該是先測實際光強，在設的時間吧，所以時間我不知道。記得實驗前光刻機先開半小時預熱。)后烘條件可以不用改，顯影時間真的不好說，靈活把握，甚至與你搖晃力度大小有關，總之不斷用鑷子撥動片子，直到?jīng)]有明顯的膠附著為止，然后去離子水和N2伺候。剝離的時候，常溫用丙酮也是要超聲的，你可以先超15分鐘丙酮，在15分鐘乙醇。肉眼很明顯還有大片金屬的話，那就繼續(xù)加長時間丙酮和乙醇超聲。 |
4樓2014-05-31 10:10:23
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 0703化學 +18 | 妮妮ninicgb 2026-03-27 | 18/900 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 0817化工學碩調(diào)劑 +7 | 努力上岸中！ 2026-03-31 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 吉大生物學326分求調(diào)劑 +3 | sunnyupup 2026-03-31 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085601 329分調(diào)劑 +4 | yzsa12 2026-03-31 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085404 22408 315分 +3 | zhuangyan123 2026-03-31 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 本科211總分289，08工學真心求調(diào)劑 +3 | utopiaE 2026-03-30 | 3/150 |
|
|
[考研] 抱歉 +4 | 田洪有 2026-03-30 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085701環(huán)境工程求調(diào)劑 +11 | 多久上課 2026-03-27 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 材料工程專碩求調(diào)劑 +8 | hyl3153942 2026-03-29 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 085600 286分 材料求調(diào)劑 +11 | 麻辣魷魚 2026-03-27 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 各位老師好，我的一志愿為北京科技大學085601材料專碩 +10 | Koxui 2026-03-28 | 10/500 |
|
|
|
[考研]
 105500藥學求調(diào)劑，一志愿山東大學藥學，348分
+3
|
gr哈哈哈 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料專碩調(diào)劑 +11 | 椰椰。 2026-03-29 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 本科新能源科學與工程，一志愿華理能動285求調(diào)劑 +3 | AZMK 2026-03-27 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 339求調(diào)劑，想調(diào)回江蘇 +6 | 烤麥芽 2026-03-27 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +4 | 丟掉懶惰 2026-03-27 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +7 | 墨墨漠 2026-03-27 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 330一志愿中國海洋大學 化學工程 085602 有讀博意愿 求調(diào)劑 +3 | wywy.. 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085600，材料與化工321分調(diào)劑 +4 | 大饞小子 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 材料與化工304求B區(qū)調(diào)劑 +3 | 邱gl 2026-03-25 | 3/150 |
|