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退火爐退火 已有3人參與
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我做半導(dǎo)體薄膜在氮?dú)鈿夥罩型嘶穑俏易龀鰜淼臉悠穮s被氧化了，生成了其他物質(zhì)。我做的方法是，先抽到一定的本底真空，然后再關(guān)閉閘板閥，通一定量的氮?dú)�，然后關(guān)閉分子泵，然后開始升溫，進(jìn)行退火，但是這時(shí)機(jī)械泵是開著的。這時(shí)通入的氮?dú)馐遣皇且呀?jīng)被機(jī)械泵抽走了呢？變成了真空退火呢？ 具體退火的先后順序是什么呢？是先升溫還是先通氣？ |
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peterflyer 
木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
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4樓2014-06-19 17:19:24
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3樓2014-06-19 15:17:46
5樓2014-06-20 10:51:22
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