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退火爐退火 已有3人參與
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我做半導(dǎo)體薄膜在氮?dú)鈿夥罩型嘶穑俏易龀鰜淼臉悠穮s被氧化了,生成了其他物質(zhì)。我做的方法是,先抽到一定的本底真空,然后再關(guān)閉閘板閥,通一定量的氮?dú),然后關(guān)閉分子泵,然后開始升溫,進(jìn)行退火,但是這時(shí)機(jī)械泵是開著的。這時(shí)通入的氮?dú)馐遣皇且呀?jīng)被機(jī)械泵抽走了呢?變成了真空退火呢? 具體退火的先后順序是什么呢?是先升溫還是先通氣? |


金蟲 (著名寫手)

鐵桿木蟲 (知名作家)

木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
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