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fishonwave金蟲 (小有名氣)
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[求助]
請問SRIM/TRIM軟件中沒有需要的化合物靶怎么辦? 已有1人參與
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大家好! 請問SRIM/TRIM軟件的化合物字典中沒有我所需要的化合物,可以自己建立嗎?比如我想要SiC,可不可以新建一個(gè)layer,然后添加元素Si和C,使其元素計(jì)量比為1:1,然后再將其密度改為3.21,這樣可以嗎?和直接從化合物字典中選取有什么區(qū)別?謝謝! |
新蟲 (正式寫手)

木蟲 (小有名氣)
| 首先SiC在化合物字典里確實(shí)存在,但是是我想你問的問題的重點(diǎn)應(yīng)該是那些不存在的化合物,就SiC在字典里的存在情況而言,和你給的參數(shù)沒有區(qū)別,所以我認(rèn)為對于字典中不存在的化合物可以按照你說的方法來做。 |
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金蟲 (正式寫手)
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個(gè)人理解,如有錯(cuò)誤歡迎大家拍磚。 如果樓主和我一樣只關(guān)注離子注入深度及其分布,那入射深度個(gè)人感覺其實(shí)僅和靶材的密度有關(guān)(implantation energy一定),如果在compound里面找不到一般的方法也就如lz的一樣,這種計(jì)算其實(shí)就是一個(gè)加權(quán)平均,如果實(shí)際是晶體靶材那SRIM有時(shí)是無能為力的,溝道效應(yīng)是無法在計(jì)算中體現(xiàn)的,在compound里面找到靶物的好處是你可以省略disp,latt和surf等能量的查找工作 |

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