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fishonwave金蟲 (小有名氣)
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[求助]
請(qǐng)問SRIM/TRIM軟件中沒有需要的化合物靶怎么辦？ 已有1人參與
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大家好！ 請(qǐng)問SRIM/TRIM軟件的化合物字典中沒有我所需要的化合物，可以自己建立嗎？比如我想要SiC，可不可以新建一個(gè)layer，然后添加元素Si和C，使其元素計(jì)量比為1:1，然后再將其密度改為3.21，這樣可以嗎？和直接從化合物字典中選取有什么區(qū)別？謝謝！ |
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maiery
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個(gè)人理解，如有錯(cuò)誤歡迎大家拍磚。 如果樓主和我一樣只關(guān)注離子注入深度及其分布，那入射深度個(gè)人感覺其實(shí)僅和靶材的密度有關(guān)（implantation energy一定），如果在compound里面找不到一般的方法也就如lz的一樣，這種計(jì)算其實(shí)就是一個(gè)加權(quán)平均，如果實(shí)際是晶體靶材那SRIM有時(shí)是無能為力的，溝道效應(yīng)是無法在計(jì)算中體現(xiàn)的，在compound里面找到靶物的好處是你可以省略disp，latt和surf等能量的查找工作 |
5樓2015-04-09 20:03:03
s_suny
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
fishonwave: 金幣+30, ★★★很有幫助, 謝謝您的回答！ 2014-07-02 21:36:57
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| 首先SiC在化合物字典里確實(shí)存在，但是是我想你問的問題的重點(diǎn)應(yīng)該是那些不存在的化合物，就SiC在字典里的存在情況而言，和你給的參數(shù)沒有區(qū)別，所以我認(rèn)為對(duì)于字典中不存在的化合物可以按照你說的方法來做。 |
2樓2014-06-25 08:18:49
dybsgz
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3樓2014-09-06 08:41:27
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4樓2014-10-16 09:58:09
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