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wangstudio新蟲 (初入文壇)
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[求助]
薄膜分析測(cè)試辦法 已有4人參與
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各位: 我們最近有一批樣品,是圓柱體,直徑9mm,高度10mm,基層是高純硅;w的外表面有一層污染膜,顏色比較多,有的是藍(lán)色,有的是紅色,有的深棕色,F(xiàn)在想找辦法分析一下,關(guān)鍵是想知道這層膜究竟是什么元素組成的?如果能知道結(jié)構(gòu),那就更好了。從理論上分析,污染膜要么是氧化物,要么是氮化物,膜厚不確定,從已有文獻(xiàn)來(lái)看,可能是幾個(gè)微米。 請(qǐng)教各位高手,有什么辦法可以做到?如果是XRD,這樣的樣品可以直接測(cè)嗎?因?yàn)槲覀冊(cè)囘^(guò)將薄膜刮去,硬度太大,沒(méi)法操作。在西安,有沒(méi)有可以做的地方,推薦一下。 謝謝! |
金蟲 (著名寫手)
| 可以試一下XRD,XPS,最后考慮TEM |

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