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wangstudio新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
薄膜分析測(cè)試辦法 已有4人參與
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各位： 我們最近有一批樣品，是圓柱體，直徑9mm，高度10mm，基層是高純硅�；w的外表面有一層污染膜，顏色比較多，有的是藍(lán)色，有的是紅色，有的深棕色。現(xiàn)在想找辦法分析一下，關(guān)鍵是想知道這層膜究竟是什么元素組成的？如果能知道結(jié)構(gòu)，那就更好了。從理論上分析，污染膜要么是氧化物，要么是氮化物，膜厚不確定，從已有文獻(xiàn)來(lái)看，可能是幾個(gè)微米。 請(qǐng)教各位高手，有什么辦法可以做到？如果是XRD，這樣的樣品可以直接測(cè)嗎？因?yàn)槲覀冊(cè)囘^(guò)將薄膜刮去，硬度太大，沒(méi)法操作。在西安，有沒(méi)有可以做的地方，推薦一下。 謝謝！ |
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wangstudio
新蟲(chóng) (初入文壇)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
送紅花一朵 
7樓2014-07-02 20:18:15
2樓2014-06-30 22:16:12
3樓2014-07-01 09:34:47
盒子
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
| 可以試一下XRD,XPS,最后考慮TEM |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
4樓2014-07-01 15:33:18
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