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電子書蒸發(fā)鍍膜時銅靶材有氣泡冒出是怎么回事? 已有3人參與
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銅靶材圖方便直接用的粗的銅導線截成小段放石墨坩堝里面,束流從10mA慢慢加到40mA的時候銅基本都熔融了,但是表面漂浮著有雜質(zhì),而且里面看著貌似不斷有小氣泡冒出,偶爾還會有大的,還爆過兩次。而且真空度從最開始的9*10-4變成1*10-2。 網(wǎng)上查了氧化銅高于1000℃的時候會有分解放出氧氣,氣泡會不會是銅不純分解造成的呢? |
蒸發(fā)鍍膜 磁控濺射 |
銀蟲 (正式寫手)
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用銅導線純度是多少能保證么。。。做出的樣品性質(zhì)是銅的還是雜質(zhì)的都不知道。。。 如果高于1000度就分解,那這個溫度很容易達到。 不過真空度不一定說明確實放出了那么多氣體,真空計不能區(qū)分銅原子和其他氣體分子比方說氧氣氮氣分子。(當然還是很糟糕了就是了) 還有一個問題是石墨的crucible本身容易打出碳來,對樣品質(zhì)量有損害,當然也能貢獻一點對氣壓的影響 不能去買個正經(jīng)的銅的source么。。。銅應該很便宜的吧。。。= = |
木蟲之王 (文學泰斗)
peterflyer
銀蟲 (小有名氣)
銀蟲 (小有名氣)
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