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[求助]
電子書蒸發(fā)鍍膜時銅靶材有氣泡冒出是怎么回事？ 已有3人參與
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銅靶材圖方便直接用的粗的銅導線截成小段放石墨坩堝里面，束流從10mA慢慢加到40mA的時候銅基本都熔融了，但是表面漂浮著有雜質，而且里面看著貌似不斷有小氣泡冒出，偶爾還會有大的，還爆過兩次。而且真空度從最開始的9*10-4變成1*10-2。 網上查了氧化銅高于1000℃的時候會有分解放出氧氣，氣泡會不會是銅不純分解造成的呢？ |
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 蒸發(fā)鍍膜 磁控濺射 |
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【答案】應助回帖
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小步快跑: 金幣+1, ★★★很有幫助, 真空度是關了燈絲電壓后看的，應該不會是銅原子了，以前鍍別的沒這么明顯。一般鍍銅用什么坩堝？是不是石墨坩堝不合適的��？ 2014-07-05 17:35:00
感謝參與，應助指數 +1
小步快跑: 金幣+1, ★★★很有幫助, 真空度是關了燈絲電壓后看的，應該不會是銅原子了，以前鍍別的沒這么明顯。一般鍍銅用什么坩堝？是不是石墨坩堝不合適的��？ 2014-07-05 17:35:00
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用銅導線純度是多少能保證么。。。做出的樣品性質是銅的還是雜質的都不知道。。。 如果高于1000度就分解，那這個溫度很容易達到。 不過真空度不一定說明確實放出了那么多氣體，真空計不能區(qū)分銅原子和其他氣體分子比方說氧氣氮氣分子。（當然還是很糟糕了就是了） 還有一個問題是石墨的crucible本身容易打出碳來，對樣品質量有損害，當然也能貢獻一點對氣壓的影響 不能去買個正經的銅的source么。。。銅應該很便宜的吧。。。= = |
2樓2014-07-04 23:47:42
peterflyer 
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peterflyer
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3樓2014-07-05 09:04:09
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huihui2eat
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