 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1625 | 回復(fù): 7 | |||
[求助]
鈦酸鋇 磁控濺射 襯底升溫至660℃依然得到非晶膜。求問什么原因？ 已有1人參與
|
各位大神好！最近剛剛接觸磁控濺射。。。想做鈦酸鋇的濺射。但是總是得到非晶膜。 第一次均在襯底是室溫下濺射的，得到的都是非晶薄膜，700-900°C退火以后一堆雜峰。 第二次做之前查閱了一下文獻，發(fā)現(xiàn)需要在襯底高溫下進行濺射。于是調(diào)整工藝參數(shù)。 條件如下： 儀器 PVD Products 靶材 3 inch， 也就是7.5 cm直徑， 功率 70W， 算的功率密度約為1.59W/cm2 氣氛 Ar/O2 4:1 (流速20sccm：5sccm) 氣壓試過5mTorr 和15mTorr； 襯底用的Si/5 nm Cr/30 nm Pt，襯底溫度設(shè)定700 實際溫度為660，升溫速度25/min, 降溫15/min 靶到襯底的距離為12cm 濺射1.5小時得到45nm左右厚的薄膜，即是說大約為0.5 nm/min。 濺射出來的，仍然是非晶。 800下快速退火，得到的XRD跟第一次室溫濺射后退火的XRD一樣。。。 貌似有一點鈦酸鋇但是大部分都是不知道什么歸屬的雜峰，且雜峰為主。。。盼望有經(jīng)驗的大神挑一下到底是什么毛病，指導(dǎo)一下  XRD請看附圖 我同時還嘗試濺射了鈷鐵氧。室溫下濺射得到的非晶，退火后亂七八糟。但是襯底升溫至350℃時就得到了鈷鐵氧的結(jié)晶薄膜了。鈷鐵氧的濺射條件中，只有氣氛和溫度不一樣，其他均一樣。用的是純氬氣。條件是： 靶材 3 inch， 功率 70W， 算的功率密度約為1.59W/cm2 氣氛 Ar (流速20sccm) 氣壓 5mTorr； 襯底用的Si/5 nm Cr/30 nm Pt，襯底溫度350-650 靶到襯底的距離為12cm 濺射1.5小時得到60nm左右厚的薄膜。 同樣是濺射 差距咋這么大呢 求助BTO.jpg |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 真空鍍膜類技術(shù)資料 |
» 猜你喜歡
材料專業(yè)求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
一志愿天津大學(xué)化學(xué)工藝專業(yè)（081702）315分求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
344求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
一志愿985，本科211，0817化學(xué)工程與技術(shù)319求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
271材料工程求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
材料專碩英一數(shù)二306
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
294求調(diào)劑材料與化工專碩
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
一志愿中海洋材料工程專碩330分求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
070303一志愿西北大學(xué)學(xué)碩310找調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
0703化學(xué)調(diào)劑，求各位老師收留
已經(jīng)有9人回復(fù)
2樓2014-07-24 04:45:43
彬彬3028
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 5 (幼兒園)
- 金幣: 1876.5
- 散金: 1206
- 紅花: 3
- 帖子: 536
- 在線: 113.5小時
- 蟲號: 1613017
- 注冊: 2012-02-12
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
3樓2014-07-24 09:13:11
4樓2014-09-11 17:03:38
whulsz
銅蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 88.1
- 帖子: 52
- 在線: 38.7小時
- 蟲號: 114747
- 注冊: 2005-11-23
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2015-01-07 12:49:34
匿名 
用戶注銷 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 1896.5
- 散金: 1925
- 紅花: 9
- 帖子: 1658
- 在線: 305.2小時
- 蟲號: 0
- 注冊: 2013-08-10
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
6樓2017-11-03 16:54:11
強哥哥哥
新蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 5858.8
- 散金: 25
- 紅花: 19
- 帖子: 2374
- 在線: 136.3小時
- 蟲號: 4127252
- 注冊: 2015-10-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體科學(xué)與信息器件
7樓2017-11-05 23:24:45
 本帖僅樓主可見 |
8樓2020-12-03 15:49:57
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 851226 的主題更新
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +3 | 冬十三 2026-03-18 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 化學(xué)工程321分求調(diào)劑 +15 | 大米飯！ 2026-03-15 | 18/900 |
|
|
|
[考研] 281求調(diào)劑（0805） +5 | 煙汐憶海 2026-03-16 | 13/650 |
|
|
[考研] 材料專碩274一志愿陜西師范大學(xué)求調(diào)劑 +6 | 薛云鵬 2026-03-13 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 070300化學(xué)319求調(diào)劑 +6 | 錦鯉0909 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 293求調(diào)劑 +11 | zjl的號 2026-03-16 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 277調(diào)劑 +5 | 自由煎餅果子 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +4 | 是Lupa啊 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +6 | 孔志浩 2026-03-12 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 0854控制工程 359求調(diào)劑 可跨專業(yè) +3 | 626776879 2026-03-14 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 中科院材料273求調(diào)劑 +4 | yzydy 2026-03-15 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 277材料科學(xué)與工程080500求調(diào)劑 +3 | 自由煎餅果子 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 26考研一志愿中國石油大學(xué)(華東)305分求調(diào)劑 +3 | 嘉年新程 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +4 | z1z2z3879 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +6 | Mochaaaa 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 26調(diào)劑/材料科學(xué)與工程/總分295/求收留 +9 | 2026調(diào)劑俠 2026-03-12 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)求調(diào)劑 +7 | 綠豆芹菜湯 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料301分求調(diào)劑 +5 | Liyouyumairs 2026-03-12 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 277求調(diào)劑 +4 | anchor17 2026-03-12 | 4/200 |
|
|
|
[考博] 26讀博 +4 | Rui135246 2026-03-12 | 10/500 |
|