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gezi_shan銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助~~~氧化亞銅 薄膜太陽能電池 的制備 磁控法 已有2人參與
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各位大俠，本人現(xiàn)在正在做氧化亞銅/氧化鋅的薄膜太陽能電池，但是課題組之前沒有人做過，所以碰到了很大的困難。 想在以下方面請教以下： 1. 磁控法沉積兩層薄膜，在薄膜的界面會不會產(chǎn)生很明顯的原子擴(kuò)散，會不會對形成PN結(jié)產(chǎn)生影響？ 2.高溫生長或高溫退火對界面的影響 3.電池的組裝工藝，如怎么避免電池短路，怎么把電極引出等。 我先在碰到的問題是，合成的器件測IV曲線直接是一條直線，根本沒有整流效應(yīng)，更別說光伏效應(yīng)。 在論壇上搜索，發(fā)現(xiàn)我做的這玩意幾乎沒人做，所以請教各位如有相近課題的，如CIGS太陽能電池也能不吝賜教！ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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1、首先,優(yōu)化濺射工藝，確定Cu2O的導(dǎo)電類型：P型，P型載流子濃度10^15~10^17之間，遷移率越大越好，方塊電阻盡量�。ㄒ膊灰珡�(qiáng)求，因為前兩項已基本確定了電池方阻） （1）注意本底氣壓的影響； （2）Ar氣流量的影響； （3）退火溫度的影響； （4）O2/Ar比的影響； （5）濺射功率的影響； （6）濺射方式的影響RF與DC的不同； （7）有些文獻(xiàn)會進(jìn)行摻雜，Cl，屬于反應(yīng)濺射的范疇，當(dāng)然Cu2O也可以通過反應(yīng)濺射制備； 2、PN結(jié)結(jié)構(gòu)方面建議：N-->P依此為 FTO或AZO/i-ZnO/Cu2O，高阻i-ZnO可以提高電池的旁路電阻Rsh。 3、電池的制備路線（1），干凈的FTO襯底-->Sputter-Cu2O(步驟1最佳工藝)-->Sputter-i-ZnO(50~150nm,可通O氣調(diào)阻值)-->Sputter-AZO(200~500nm,30~50方塊電阻)-->絲網(wǎng)印刷或熱蒸發(fā)金屬珊線-->刻劃分片（單個電池為1*1cm或其他尺寸）-->選擇某個小區(qū)域腐蝕出FTO電極； 4、電池制備路線（2），干凈的FTO襯底-->sputter-i-ZnO-->Sputter-Cu2O(步驟1最佳工藝)-->濺射金或鉑電極-->刻劃分片（單個電池為1*1cm或其他尺寸）-->選擇某個小區(qū)域腐蝕出FTO電極； |
4樓2014-07-17 13:53:13
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