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gezi_shan銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助~~~氧化亞銅 薄膜太陽能電池 的制備 磁控法 已有2人參與
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各位大俠,本人現(xiàn)在正在做氧化亞銅/氧化鋅的薄膜太陽能電池,但是課題組之前沒有人做過,所以碰到了很大的困難。 想在以下方面請教以下: 1. 磁控法沉積兩層薄膜,在薄膜的界面會不會產(chǎn)生很明顯的原子擴(kuò)散,會不會對形成PN結(jié)產(chǎn)生影響? 2.高溫生長或高溫退火對界面的影響 3.電池的組裝工藝,如怎么避免電池短路,怎么把電極引出等。 我先在碰到的問題是,合成的器件測IV曲線直接是一條直線,根本沒有整流效應(yīng),更別說光伏效應(yīng)。 在論壇上搜索,發(fā)現(xiàn)我做的這玩意幾乎沒人做,所以請教各位如有相近課題的,如CIGS太陽能電池也能不吝賜教! |
有用知識 |
專家顧問 (著名寫手)
研發(fā)工程師-Topcon/HJT電池
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專家經(jīng)驗(yàn): +112 |
金蟲 (小有名氣)
銀蟲 (初入文壇)
專家顧問 (著名寫手)
研發(fā)工程師-Topcon/HJT電池
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專家經(jīng)驗(yàn): +112 |
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1、首先,優(yōu)化濺射工藝,確定Cu2O的導(dǎo)電類型:P型,P型載流子濃度10^15~10^17之間,遷移率越大越好,方塊電阻盡量。ㄒ膊灰珡(qiáng)求,因?yàn)榍皟身?xiàng)已基本確定了電池方阻) (1)注意本底氣壓的影響; (2)Ar氣流量的影響; (3)退火溫度的影響; (4)O2/Ar比的影響; (5)濺射功率的影響; (6)濺射方式的影響RF與DC的不同; (7)有些文獻(xiàn)會進(jìn)行摻雜,Cl,屬于反應(yīng)濺射的范疇,當(dāng)然Cu2O也可以通過反應(yīng)濺射制備; 2、PN結(jié)結(jié)構(gòu)方面建議:N-->P依此為 FTO或AZO/i-ZnO/Cu2O,高阻i-ZnO可以提高電池的旁路電阻Rsh。 3、電池的制備路線(1),干凈的FTO襯底-->Sputter-Cu2O(步驟1最佳工藝)-->Sputter-i-ZnO(50~150nm,可通O氣調(diào)阻值)-->Sputter-AZO(200~500nm,30~50方塊電阻)-->絲網(wǎng)印刷或熱蒸發(fā)金屬珊線-->刻劃分片(單個(gè)電池為1*1cm或其他尺寸)-->選擇某個(gè)小區(qū)域腐蝕出FTO電極; 4、電池制備路線(2),干凈的FTO襯底-->sputter-i-ZnO-->Sputter-Cu2O(步驟1最佳工藝)-->濺射金或鉑電極-->刻劃分片(單個(gè)電池為1*1cm或其他尺寸)-->選擇某個(gè)小區(qū)域腐蝕出FTO電極; |
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