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小河不拉貨金蟲 (正式寫手)
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XRD測試：（0001）藍(lán)寶石上濺射AlN薄膜，有的片子有很明顯的基片峰，有的一點(diǎn)都沒有？ 已有2人參與
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如題，薄膜厚度大約在1.3um，我之前在si基片上做薄膜都是有基片峰的，換成藍(lán)寶石基片就有時(shí)候沒峰 另外奇怪的是同一條件下，如果是現(xiàn)在藍(lán)寶石基片上長一層100nm左右的Pt電極，反而經(jīng)常能掃出（0006）的藍(lán)寶石基片峰 看的文獻(xiàn)好像也不少了，但是就是不明白這個(gè)貌似簡單的問題  |
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9樓2014-08-06 12:42:09
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