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小河不拉貨金蟲 (正式寫手)
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[求助]
XRD測試:(0001)藍(lán)寶石上濺射AlN薄膜,有的片子有很明顯的基片峰,有的一點(diǎn)都沒有? 已有2人參與
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如題,薄膜厚度大約在1.3um,我之前在si基片上做薄膜都是有基片峰的,換成藍(lán)寶石基片就有時候沒峰 另外奇怪的是同一條件下,如果是現(xiàn)在藍(lán)寶石基片上長一層100nm左右的Pt電極,反而經(jīng)常能掃出(0006)的藍(lán)寶石基片峰 看的文獻(xiàn)好像也不少了,但是就是不明白這個貌似簡單的問題 |
用戶注銷 (正式寫手)
至尊木蟲 (知名作家)

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