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0605102034銅蟲 (著名寫手)
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[求助]
微波氫等離子體的輝光放電
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| 各位蟲友，小弟現在做微波等離子體方面的工作，由于也是初次接觸，所以還有很多不明白的地方向大家請教。最近在用氫氣作為氣源，在微波的作用下，生成的等離子體產生異�，F象，主要情況是如下：在開始通入氫氣并起輝后，氫等離子體呈現出正常的藍紫色，隨著微波功率的增加，壓力的逐漸增大，等離子體顏色開始微微變紅，這種現象產生后，腔體的壓強增速立刻變快，以50—100Pa/s的速度增長，同時通過調節(jié)微調閥也不能降低腔體內的壓強，這過程中等離子體直徑開始收縮變小，中間形成一根亮柱子，溫度也升高得較快，到最后等離子體的顏色開始變成淡藍色，亮柱子更加明顯，整個等離子體開始在樣品臺上晃動，腔體內壓強也失控。具體情況如圖1-6所示：如有蟲友知道，希望能告訴一下，謝謝大家了！ |
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