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[交流] CVD設(shè)備中的流量與壓強(qiáng)問題

我的CVD設(shè)備以前是400SCCM的流量可以維持管內(nèi)壓強(qiáng)為4KPa，而現(xiàn)在同樣的流量只能維持300Pa，不知為什么?沒有檢查到漏氣的地方

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1樓 2014-08-26 17:58:19

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1. 鋼瓶?jī)?nèi)氣壓變得不足 2. 泵抽速變快/原來抽氣的管道設(shè)有閥門，閥門打開程度變大 3.還未檢查到漏氣位置
這些都有可能是此問題的原因

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2樓2014-08-26 19:58:47

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2樓: Originally posted by avgon at 2014-08-26 19:58:47
1. 鋼瓶?jī)?nèi)氣壓變得不足 2. 泵抽速變快/原來抽氣的管道設(shè)有閥門，閥門打開程度變大 3.還未檢查到漏氣位置
這些都有可能是此問題的原因

你好，鋼瓶氣壓足夠，有13mpa，還是同一個(gè)泵啊，閥門打開程度未變，只是前幾天對(duì)機(jī)械泵進(jìn)行了除水汽，難道有影響么？

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3樓2014-08-26 21:50:34

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haosonghappy: 金幣+1 2014-08-27 08:36:51

引用回帖:

3樓: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-26 21:50:34
你好，鋼瓶氣壓足夠，有13mpa，還是同一個(gè)泵啊，閥門打開程度未變，只是前幾天對(duì)機(jī)械泵進(jìn)行了除水汽，難道有影響么？...

有可能，不排除這種影響，你這問題如果正好出現(xiàn)在除水汽后，那就肯定與這個(gè)過程有關(guān)了，再仔細(xì)去考察下，應(yīng)該就會(huì)發(fā)現(xiàn)問題。

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4樓2014-08-26 22:51:46

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引用回帖:

3樓: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-26 06:50:34
你好，鋼瓶氣壓足夠，有13mpa，還是同一個(gè)泵啊，閥門打開程度未變，只是前幾天對(duì)機(jī)械泵進(jìn)行了除水汽，難道有影響么？...

抽力增強(qiáng)了，可以相應(yīng)的減小閥門打開程度。

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5樓2014-08-26 23:58:54

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幫頂 ~~~~~~~~~~~~~

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6樓2014-08-27 07:13:06

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檢查氣泵的功率輸出有無問題；檢查減壓閥、溢流閥的設(shè)置有無問題或變動(dòng)。

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7樓2014-08-27 08:22:03

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現(xiàn)在真空度可是變低了啊，說明相同進(jìn)氣流量下抽氣速率變大了，跟漏氣沒關(guān)系啊，是不是泵的性能發(fā)生了變化

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低調(diào)做人，低調(diào)做事，做對(duì)的事兒

8樓2014-08-27 08:42:20

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7樓: Originally posted by peterflyer at 2014-08-27 08:22:03
檢查氣泵的功率輸出有無問題；檢查減壓閥、溢流閥的設(shè)置有無問題或變動(dòng)。

減壓閥沒有問題，只是質(zhì)子流量計(jì)的示數(shù)跳動(dòng)很大，不知什么原因？

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9樓2014-08-27 08:45:04

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8樓: Originally posted by ljl520 at 2014-08-27 08:42:20
現(xiàn)在真空度可是變低了啊，說明相同進(jìn)氣流量下抽氣速率變大了，跟漏氣沒關(guān)系啊，是不是泵的性能發(fā)生了變化

機(jī)械泵的性能怎么會(huì)發(fā)生變化呢？只是對(duì)其進(jìn)行了除水汽

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10樓2014-08-27 08:46:24

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