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haosonghappy鐵桿木蟲 (著名寫手)
Dr.
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[交流]
CVD設(shè)備中的流量與壓強(qiáng)問題
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| 我的CVD設(shè)備以前是400SCCM的流量可以維持管內(nèi)壓強(qiáng)為4KPa，而現(xiàn)在同樣的流量只能維持300Pa，不知為什么?沒有檢查到漏氣的地方 |
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avgon
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4樓2014-08-26 22:51:46
avgon
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2樓2014-08-26 19:58:47
haosonghappy
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5樓2014-08-26 23:58:54
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