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gao198907銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
電子束蒸發(fā)YIG材料 已有2人參與
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| 大家好，我是做電子束蒸發(fā)方向的，新買的電子束蒸發(fā)設(shè)備，用來蒸發(fā)Y3Fe5O12這種材料，大塊靶材蒸發(fā)時碎裂彈出坩堝，所以把靶材敲成小碎塊，發(fā)現(xiàn)薄膜生長速度0.1埃左右很慢，像鍍鋁這種就很快，是什么原因。 |
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gao198907
銅蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
3樓2014-09-03 18:15:52
wbcui
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2樓2014-09-03 17:31:20
wbcui
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4樓2014-09-03 21:17:18
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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像YIG這種氧化物靶材確實(shí)應(yīng)該是塊體或者粉末狀的，不容易裂開。 YIG本身熔點(diǎn)比較高，蒸發(fā)慢，鍍膜速度肯定比不上鋁這樣的低熔點(diǎn)金屬。提高電子束功率就能鍍快一些。另外還要注意電子束的掃描模式，蒸鍍金屬的時候電子束斑是集中在很小的點(diǎn)上的，鍍氧化物電子束應(yīng)該是在整個靶材表面掃描，這樣受熱均勻。 我覺得鍍YIG這樣的復(fù)雜氧化物0.1A/s的速度應(yīng)該夠了，鍍慢一點(diǎn)薄膜質(zhì)量好一些... |
5樓2014-09-04 10:12:29
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