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怎樣刻蝕 掉基于ALD生長的20nm氧化鋁薄膜？
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| 我用ALD長的20nm氧化鋁，現(xiàn)在想去掉它，但不要破壞它下面的石墨烯（底層石墨烯只有1nm后），應(yīng)該怎么辦呢？如果是濕法刻蝕，請給出溶液配比，刻蝕速率，和大概的刻蝕時間。。。。對了，該片子的基底是Si |
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senpeng
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4樓2014-09-21 10:04:41
lilinxian461
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