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[求助]
怎樣刻蝕 掉基于ALD生長(zhǎng)的20nm氧化鋁薄膜？
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| 我用ALD長(zhǎng)的20nm氧化鋁，現(xiàn)在想去掉它，但不要破壞它下面的石墨烯（底層石墨烯只有1nm后），應(yīng)該怎么辦呢？如果是濕法刻蝕，請(qǐng)給出溶液配比，刻蝕速率，和大概的刻蝕時(shí)間。。。。對(duì)了，該片子的基底是Si |
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已經(jīng)有10人回復(fù)
lilinxian461
新蟲(chóng) (小有名氣)
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2樓2014-09-15 19:37:16
3樓2014-09-15 22:31:52
senpeng
銅蟲(chóng) (小有名氣)
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4樓2014-09-21 10:04:41
5樓2014-10-26 16:47:36
buctlx
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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6樓2015-11-27 18:27:13
7樓2015-11-29 01:36:29
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