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怎樣刻蝕 掉基于ALD生長(zhǎng)的20nm氧化鋁薄膜？
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| 我用ALD長(zhǎng)的20nm氧化鋁，現(xiàn)在想去掉它，但不要破壞它下面的石墨烯（底層石墨烯只有1nm后），應(yīng)該怎么辦呢？如果是濕法刻蝕，請(qǐng)給出溶液配比，刻蝕速率，和大概的刻蝕時(shí)間。。。。對(duì)了，該片子的基底是Si |
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buctlx
金蟲 (正式寫手)
金蟲
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