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shenpingccut新蟲 (初入文壇)
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[求助]
幾個(gè)納米厚的薄膜怎么測(cè)出厚度來? 已有23人參與
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| 在玻璃襯底上旋涂成膜,厚度<10nm,用什么方法能測(cè)出具體厚度來?多謝了! |
木蟲 (正式寫手)
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膜厚測(cè)試太簡(jiǎn)單了吧。。。。。 1、臺(tái)階儀:顧名思義,需要有臺(tái)階,旋涂的可以用膠帶做出一個(gè)臺(tái)階,但是這么薄做出的臺(tái)階也是不準(zhǔn)的,臺(tái)階儀的精度也不是很高,基本上幾個(gè)納米厚測(cè)試都不準(zhǔn),所以這個(gè)方法只能試試,不能認(rèn)定就是這么厚; 2、橢偏儀:需要知道一些材料滿足的色算方程,根據(jù)材料的不同建立模型,測(cè)試的精確度依賴于模型的建立合不合適,不合適的模型測(cè)試基本也會(huì)偏差很多;精度比較高,基本都在1A 3、SEM:切個(gè)截面看一下最直接,簡(jiǎn)單方便,精度也很高;主要難度在于制備樣品時(shí)別把截面劃傷 4、AFM測(cè)表面形貌用過,不知道測(cè)厚度是否可行,應(yīng)該也需要有臺(tái)階;其他的就不太熟悉了 |

金蟲 (正式寫手)

至尊木蟲 (職業(yè)作家)
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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