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shenpingccut新蟲 (初入文壇)
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[求助]
幾個(gè)納米厚的薄膜怎么測(cè)出厚度來(lái)？ 已有23人參與
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| 在玻璃襯底上旋涂成膜，厚度<10nm，用什么方法能測(cè)出具體厚度來(lái)？多謝了！ |
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cord 
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4樓2014-10-01 23:39:16
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2樓2014-10-01 13:30:35
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
| 旋涂法制備的薄膜，表面粗糙度已經(jīng)超過(guò)幾個(gè)納米了，用臺(tái)階儀根本測(cè)不出來(lái)。AFM也很難測(cè)出來(lái)，AFM在測(cè)試范圍小于100 nm時(shí)，對(duì)粗糙度的要求也很高，旋涂法制備的薄膜我認(rèn)為達(dá)不到AFM的要求。如果你確定用旋涂法制備出了幾個(gè)納米的連續(xù)致密層狀結(jié)構(gòu)的薄膜，建議用HRTEM去測(cè)試截面樣品，可以測(cè)得厚度，但是由于沒(méi)有標(biāo)準(zhǔn)的垂直度參照物，所以測(cè)試的厚度會(huì)有偏差。一般小于10%。 |
12樓2014-10-02 11:21:39
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【答案】應(yīng)助回帖
|
膜厚測(cè)試太簡(jiǎn)單了吧。。。。。 1、臺(tái)階儀：顧名思義，需要有臺(tái)階，旋涂的可以用膠帶做出一個(gè)臺(tái)階，但是這么薄做出的臺(tái)階也是不準(zhǔn)的，臺(tái)階儀的精度也不是很高，基本上幾個(gè)納米厚測(cè)試都不準(zhǔn)，所以這個(gè)方法只能試試，不能認(rèn)定就是這么厚； 2、橢偏儀：需要知道一些材料滿足的色算方程，根據(jù)材料的不同建立模型，測(cè)試的精確度依賴于模型的建立合不合適，不合適的模型測(cè)試基本也會(huì)偏差很多；精度比較高，基本都在1A 3、SEM：切個(gè)截面看一下最直接，簡(jiǎn)單方便，精度也很高；主要難度在于制備樣品時(shí)別把截面劃傷 4、AFM測(cè)表面形貌用過(guò)，不知道測(cè)厚度是否可行，應(yīng)該也需要有臺(tái)階；其他的就不太熟悉了 |
16樓2014-10-05 13:33:14
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