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[求助]
SOL-GEL方法制BST薄膜相關(guān)問題 已有2人參與
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| 使用溶膠凝膠法制備BST薄膜，在硅片上覆膜時，質(zhì)量已經(jīng)可以很好，一般110-120℃/10s干燥，300℃/5min預晶化，650℃/10min晶化。但是，為了測量薄膜電學性能，在硅片上覆了一層金作為電極，相同工藝下，薄膜的質(zhì)量簡直變成慘不忍睹……求助各位大神，什么原因啊？是薄膜會對溫度上升速度敏感性很高嗎？ |
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7樓2014-11-04 17:19:36
2樓2014-10-14 09:53:45
peterflyer 
木蟲之王 (文學泰斗)
peterflyer
- 應助: 20282 (院士)
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3樓2014-10-14 21:37:28
caoxiafei
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- 注冊: 2009-08-22
- 性別: GG
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
- 管轄: 功能材料
4樓2014-10-17 15:17:09
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