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sspp19911202新蟲 (初入文壇)
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旋涂法鍍膜不平整問(wèn)題？？在線等！ 已有4人參與
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本人做的是坦酸镥摻Eu的薄膜，課題組以前一直有用溶膠凝膠法加上旋涂鍍膜的師兄，溶膠是按照以前師兄的配方配的，按道理說(shuō)沒(méi)問(wèn)題。 旋涂機(jī)以前壞過(guò)，廠家檢查說(shuō)是漏膠，后來(lái)送去修，廠家更換了一個(gè)電機(jī)，但是鍍膜時(shí)候還是甩膠不均勻，剛旋涂完就能用肉眼看出很多個(gè)同心圓一樣的痕跡，燒結(jié)之后整塊都不平整，那些圓圈所在的地方厚度不一。 旋涂的時(shí)間和轉(zhuǎn)速也是按照以前師兄給的方案。難道是哪里的細(xì)節(jié)出了問(wèn)題？現(xiàn)在也不知道是溶膠那步有問(wèn)題還是旋涂那步有問(wèn)題。有沒(méi)有大神旋涂時(shí)候也碰到過(guò)這種情況的？ PS：我是鍍?cè)谑⒒�，石英基片是分別丙酮、去離子水、酒精超聲。然后放烘箱里面烘干，再用擦拭紙擦干凈使用的。 |
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