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sspp19911202新蟲 (初入文壇)
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[求助]
旋涂法鍍膜不平整問題？？在線等！ 已有4人參與
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本人做的是坦酸镥摻Eu的薄膜，課題組以前一直有用溶膠凝膠法加上旋涂鍍膜的師兄，溶膠是按照以前師兄的配方配的，按道理說沒問題。 旋涂機(jī)以前壞過，廠家檢查說是漏膠，后來送去修，廠家更換了一個(gè)電機(jī)，但是鍍膜時(shí)候還是甩膠不均勻，剛旋涂完就能用肉眼看出很多個(gè)同心圓一樣的痕跡，燒結(jié)之后整塊都不平整，那些圓圈所在的地方厚度不一。 旋涂的時(shí)間和轉(zhuǎn)速也是按照以前師兄給的方案。難道是哪里的細(xì)節(jié)出了問題？現(xiàn)在也不知道是溶膠那步有問題還是旋涂那步有問題。有沒有大神旋涂時(shí)候也碰到過這種情況的？ PS：我是鍍在石英基片上，石英基片是分別丙酮、去離子水、酒精超聲。然后放烘箱里面烘干，再用擦拭紙擦干凈使用的。 |
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2樓2014-10-14 18:47:53
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3樓2014-10-14 23:02:22
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5樓2014-10-17 15:27:09
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