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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 晶體 » 測試表征 » 如何測試板式PECVD設備上的硅片的溫度？
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orchid8299金蟲 (正式寫手)
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[求助]
如何測試板式PECVD設備上的硅片的溫度？ 已有2人參與
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不知道發(fā)這個版塊合不合適。 我們買一臺PECVD設備，板式的，被加熱樣品放置在腔體的上端，加熱裝置也在上端。采用鎧裝加熱裝置，加熱絲下面是薄的金屬板，金屬板下面還有一個薄的不銹鋼板，是用來放置樣品的，樣品貼在這個不銹鋼板上。加熱溫度約500-600℃。請問各位大俠，用哪種方法能較為準確測得樣品表面的溫度？ |
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2樓2014-10-19 12:18:47
hbc1234
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3樓2014-10-20 09:41:30
orchid8299
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4樓2014-10-21 11:25:25
orchid8299
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5樓2014-10-21 11:26:34
6樓2014-10-23 16:27:18
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