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orchid8299金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
如何測(cè)試板式PECVD設(shè)備上的硅片的溫度？ 已有2人參與
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不知道發(fā)這個(gè)版塊合不合適。 我們買(mǎi)一臺(tái)PECVD設(shè)備，板式的，被加熱樣品放置在腔體的上端，加熱裝置也在上端。采用鎧裝加熱裝置，加熱絲下面是薄的金屬板，金屬板下面還有一個(gè)薄的不銹鋼板，是用來(lái)放置樣品的，樣品貼在這個(gè)不銹鋼板上。加熱溫度約500-600℃。請(qǐng)問(wèn)各位大俠，用哪種方法能較為準(zhǔn)確測(cè)得樣品表面的溫度？ |
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hbc1234
木蟲(chóng) (小有名氣)
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3樓2014-10-20 09:41:30
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4樓2014-10-21 11:25:25
orchid8299
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5樓2014-10-21 11:26:34
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