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jhk1031新蟲 (初入文壇)
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[交流]
我用橢偏儀測得的薄膜的光學常數n k跟文獻中的相比每個波長下都小了差不多1 已有3人參與
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| 這是怎么回事呢,我是在玻璃上鍍膜測得,不知道是不是鍍在Si片上有所區(qū)別,對n k還不太了解,對襯底有要求么 |
金蟲 (小有名氣)

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新蟲 (初入文壇)
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橢偏儀的原理很簡單,就是測試反射后的光功率,用的也就是簡單的snell's law。只不過是很多層膜罷了。 在測試的時候,必須要考慮各層材料,包括襯底材料。然后在材料庫中選擇合適的模型,或者是自己新建一個材料模型。橢偏儀這個東西,就是原理簡單,測試麻煩,尤其是擬合算法。能賣那么高價錢,一方面是其材料庫,一方面就是其擬合算法了。 另外,不要指望那些測試的操作人員(不是全部,是部分,甚至是絕大部分)很懂這些原理,很多實驗室的所謂老師在操作儀器的時候,也只是按照操作手冊而已,根本不了解儀器的原理和注意事項,以及不同的操作(如選擇模型等)會對結果產生怎樣的影響。最后給你一堆數據,看著很熱鬧,其實都是垃圾數據,只會誤導你,沒辦法根據測試數據分析指導實驗。 |
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