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jhk1031新蟲 (初入文壇)
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[交流]
我用橢偏儀測(cè)得的薄膜的光學(xué)常數(shù)n k跟文獻(xiàn)中的相比每個(gè)波長(zhǎng)下都小了差不多1 已有3人參與
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| 這是怎么回事呢,我是在玻璃上鍍膜測(cè)得,不知道是不是鍍?cè)赟i片上有所區(qū)別,對(duì)n k還不太了解,對(duì)襯底有要求么 |
金蟲 (小有名氣)

新蟲 (初入文壇)
金蟲 (小有名氣)

銅蟲 (初入文壇)
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你好,我也是剛剛開始使用橢偏儀,我在擬合的時(shí)候有個(gè)問題想向你請(qǐng)加一下。我使用的Drude-Lorentz模型擬合的鈣鈦礦材料。襯底是導(dǎo)電玻璃,我先對(duì)導(dǎo)電玻璃擬合了,均方差0.45,然后擬合的玻璃上面的鈣鈦礦膜,問題就是我調(diào)節(jié)W-P-free-carriers和W-tau-free-carriers這兩個(gè)參數(shù)的時(shí)候,從0-2000之間的變化,均方差基本沒有變,都是0.42多。這點(diǎn)我很不理解。不知道你遇到過這類問題沒有?請(qǐng)問怎么應(yīng)該怎么辦? |
金蟲 (小有名氣)

新蟲 (初入文壇)
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橢偏儀的原理很簡(jiǎn)單,就是測(cè)試反射后的光功率,用的也就是簡(jiǎn)單的snell's law。只不過是很多層膜罷了。 在測(cè)試的時(shí)候,必須要考慮各層材料,包括襯底材料。然后在材料庫(kù)中選擇合適的模型,或者是自己新建一個(gè)材料模型。橢偏儀這個(gè)東西,就是原理簡(jiǎn)單,測(cè)試麻煩,尤其是擬合算法。能賣那么高價(jià)錢,一方面是其材料庫(kù),一方面就是其擬合算法了。 另外,不要指望那些測(cè)試的操作人員(不是全部,是部分,甚至是絕大部分)很懂這些原理,很多實(shí)驗(yàn)室的所謂老師在操作儀器的時(shí)候,也只是按照操作手冊(cè)而已,根本不了解儀器的原理和注意事項(xiàng),以及不同的操作(如選擇模型等)會(huì)對(duì)結(jié)果產(chǎn)生怎樣的影響。最后給你一堆數(shù)據(jù),看著很熱鬧,其實(shí)都是垃圾數(shù)據(jù),只會(huì)誤導(dǎo)你,沒辦法根據(jù)測(cè)試數(shù)據(jù)分析指導(dǎo)實(shí)驗(yàn)。 |
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