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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 菲林掩膜板的最小尺寸精度是多少？
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wdazhi銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
菲林掩膜板的最小尺寸精度是多少？ 已有1人參與
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問了一些廠家，都只能做20或30微米的。 想做一些10微米左右的結構，結構很簡單，精度要求也不是很高，用cr版太貴了，哪里能做？ |
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lee0803
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