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[求助] 真空非自耗電弧爐抽真空抽不上去已有6人參與

樓主的真空爐是用來(lái)熔煉非晶合金的，最近抽真空老是出問(wèn)題，是機(jī)械泵和分子泵二級(jí)連抽的，低真空可以抽上去，但是高真空不行。而且有時(shí)候高真空抽上去了，用個(gè)幾十分鐘，然后再用，低真空也不行了，如此反復(fù)循環(huán)，樓主快崩潰了，求助大神解決辦法。

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1樓 2014-11-24 11:22:48

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李自超

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是不是分子泵壞了呀？找個(gè)人幫你看一下�；蛘呖匆幌码姶砰y，

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2樓2014-11-24 12:00:36

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會(huì)不會(huì)有漏氣的地方？或者是有某些真空爐配件有問(wèn)題？或者真空爐有冰塊？建議先檢查一下?tīng)t內(nèi)，看看有沒(méi)有異物，清潔一下?tīng)t內(nèi)，既然能夠抽到高真空，說(shuō)明抽真空系統(tǒng)沒(méi)有問(wèn)題的，否則也不會(huì)達(dá)到高真空的。

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稀里糊涂是最高境界

3樓2014-11-24 20:38:16

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peterflyer

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peterflyer

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很可能真空室中存在著一些能夠產(chǎn)生氣體的材料。

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4樓2014-11-25 00:28:02

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洗下氣再抽試試呢。估計(jì)漏氣啦，檢查閥是否上緊

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5樓2014-11-25 12:29:49

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樓主1.關(guān)閉主閥，看下是不是泵的問(wèn)題。
2.如果泵沒(méi)有問(wèn)題應(yīng)該是爐子問(wèn)題啊。排除法。

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6樓2014-11-26 17:03:14

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引用回帖:

2樓: Originally posted by 李自超 at 2014-11-24 12:00:36
是不是分子泵壞了呀？找個(gè)人幫你看一下�；蛘呖匆幌码姶砰y，

自己又好了

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菜鳥(niǎo)在前進(jìn)

7樓2014-11-27 20:52:57

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tongxiatian

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分子束外延、PVD、CVD生長(zhǎng)相關(guān)領(lǐng)域

8樓2014-11-27 21:45:23

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jack-shen

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引用回帖:

5樓: Originally posted by 奮斗2010 at 2014-11-25 12:29:49
洗下氣再抽試試呢。估計(jì)漏氣啦，檢查閥是否上緊

洗期對(duì)設(shè)備有影響嗎，會(huì)不會(huì)縮短設(shè)備壽命

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9樓2016-09-21 11:00:42

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