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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 濺射系統(tǒng)真空度抽不上去
| 查看: 2061 | 回復: 16 | ||
lzg919530615金蟲 (正式寫手)
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[求助]
濺射系統(tǒng)真空度抽不上去 已有7人參與
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系統(tǒng)放在超凈室里面，泵是機械泵和分子泵，平時只濺射氧化物材料，之前抽真空還行，用3個小時大概可以抽到5E-4，其間有一個星期沒用設備了（離開的時候設備壓強大概是10Pa左右），回來后真空抽的很慢，5個多小時才抽到6E-4，有可能是什么原因呢？謝謝啦！ PS（把機械泵、分子泵停了，設備放置12小時壓強從0.5Pa變?yōu)?Pa，密封性應該還不錯吧） |
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superhamlet
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【答案】應助回帖
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| 除了樓上所說的，我還遇到過一種情況�？刂崎y門的開關旋鈕長期使用后出現(xiàn)滑失，實際位置與指示位置有偏差，這種情況要么將旋鈕卸開調整下，要么就在抽真空的過程中，一旦發(fā)現(xiàn)真空度停滯不下，則在可允許范圍內(nèi)來回扭動旋鈕，然后我發(fā)現(xiàn)真空度一下子就開始下去了。 |
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4樓2013-12-11 20:43:45
wiseroy
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6樓2013-12-12 21:03:12
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2樓2013-12-11 19:37:59
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| 開個腔用酒精擦拭下內(nèi)壁和密封圈，有必要的話砂紙打磨下靶罩和擋板；真空抽到負3開烘烤幾個小時，這樣應該會達到理想真空度吧。 |
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3樓2013-12-11 20:33:48
lzg919530615
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8樓2013-12-12 21:06:22
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9樓2013-12-12 21:06:37
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