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lzg919530615金蟲 (正式寫手)
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[求助]
濺射系統(tǒng)真空度抽不上去 已有7人參與
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系統(tǒng)放在超凈室里面，泵是機(jī)械泵和分子泵，平時只濺射氧化物材料，之前抽真空還行，用3個小時大概可以抽到5E-4，其間有一個星期沒用設(shè)備了（離開的時候設(shè)備壓強(qiáng)大概是10Pa左右），回來后真空抽的很慢，5個多小時才抽到6E-4，有可能是什么原因呢？謝謝啦！ PS（把機(jī)械泵、分子泵停了，設(shè)備放置12小時壓強(qiáng)從0.5Pa變?yōu)?Pa，密封性應(yīng)該還不錯吧） |
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lzg919530615: 金幣+10, ★★★★★最佳答案, 謝謝！ 2013-12-25 21:38:14
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| 開個腔用酒精擦拭下內(nèi)壁和密封圈，有必要的話砂紙打磨下靶罩和擋板；真空抽到負(fù)3開烘烤幾個小時，這樣應(yīng)該會達(dá)到理想真空度吧。 |
lzg9195306153樓2013-12-11 20:33:48
wiseroy
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| 機(jī)械泵，沒油了，估計(jì) |
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2樓2013-12-11 19:37:59
superhamlet
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| 除了樓上所說的，我還遇到過一種情況。控制閥門的開關(guān)旋鈕長期使用后出現(xiàn)滑失，實(shí)際位置與指示位置有偏差，這種情況要么將旋鈕卸開調(diào)整下，要么就在抽真空的過程中，一旦發(fā)現(xiàn)真空度停滯不下，則在可允許范圍內(nèi)來回扭動旋鈕，然后我發(fā)現(xiàn)真空度一下子就開始下去了。 |
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4樓2013-12-11 20:43:45
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5樓2013-12-12 20:59:04
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