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lzg919530615金蟲 (正式寫手)
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[求助]
濺射系統(tǒng)真空度抽不上去 已有7人參與
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系統(tǒng)放在超凈室里面,泵是機械泵和分子泵,平時只濺射氧化物材料,之前抽真空還行,用3個小時大概可以抽到5E-4,其間有一個星期沒用設(shè)備了(離開的時候設(shè)備壓強大概是10Pa左右),回來后真空抽的很慢,5個多小時才抽到6E-4,有可能是什么原因呢?謝謝啦! PS(把機械泵、分子泵停了,設(shè)備放置12小時壓強從0.5Pa變?yōu)?Pa,密封性應(yīng)該還不錯吧) |
金蟲 (正式寫手)
木蟲 (著名寫手)
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| 開個腔用酒精擦拭下內(nèi)壁和密封圈,有必要的話砂紙打磨下靶罩和擋板;真空抽到負3開烘烤幾個小時,這樣應(yīng)該會達到理想真空度吧。 |
金蟲 (小有名氣)
| 除了樓上所說的,我還遇到過一種情況?刂崎y門的開關(guān)旋鈕長期使用后出現(xiàn)滑失,實際位置與指示位置有偏差,這種情況要么將旋鈕卸開調(diào)整下,要么就在抽真空的過程中,一旦發(fā)現(xiàn)真空度停滯不下,則在可允許范圍內(nèi)來回扭動旋鈕,然后我發(fā)現(xiàn)真空度一下子就開始下去了。 |
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