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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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wcl871234

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[求助] 磁控濺射高真空抽不下去

我用的沈科儀的磁控濺射系統(tǒng)，換靶后剛開始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的負(fù)四時(shí)就抽不下去了，我們平常很容易的就能抽到5-6乘以十的負(fù)五次的，現(xiàn)在試了幾次都抽不下去，各位大俠覺得可能是什么原因？望多多給建議

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1樓 2012-10-08 10:33:06

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nanodot

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可能你換靶的時(shí)候真空腔有點(diǎn)潮濕，沒有烘干。這機(jī)器用久了就只能抽到這個(gè)程度了。

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2樓2012-10-08 10:45:44

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wcl871234

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感覺很突然，原來(lái)很容易能抽下去的，所以我覺得正常的話應(yīng)該能抽下去，如果是腔潮濕的話自然晾干能行嗎？烘不太方便

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3樓2012-10-08 10:54:34

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zwy198759

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你能抽到這么高的真空，就絕對(duì)不會(huì)是漏氣的原因。
你換靶材的時(shí)候，應(yīng)該是要對(duì)真空腔和靶進(jìn)行清洗，估計(jì)是真空腔里面有水氣。
還有就是真空腔暴露在大氣環(huán)境下的時(shí)間太長(zhǎng)了，抽的慢是正常的，你可以通點(diǎn)氮?dú)膺M(jìn)去�；蛘吣愦蜷_真空腔用電吹風(fēng)吹下。

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4樓2012-10-08 12:10:11

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王令111

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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流,可以給些建議哈，或是一些措施 2012-10-09 07:54:13

十的負(fù)4，很高了，，負(fù)-5的話可能需要很長(zhǎng)時(shí)間，可能也與機(jī)子老化了有關(guān)

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活著的意義

5樓2012-10-08 12:24:39

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Smallpeng

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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-10-09 07:54:21

負(fù)4已經(jīng)很好了，可能就是腔體進(jìn)水分了，按上面說(shuō)的烘下試試

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勇敢自信踏實(shí)，科研其實(shí)和生活是一樣一樣的

6樓2012-10-08 17:07:31

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sunny_911

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呵呵～我覺得有以下幾種可能：1是有潮氣導(dǎo)致的真空抽不下去；2是你鍍的金屬層在鍍膜室內(nèi)沉積過(guò)久，鍍層厚了容易有孔隙積累氣體和潮氣，所以需要定期清理；3是有漏氣的地方，你可以抽到-4級(jí)別然后關(guān)閉真空系統(tǒng)和閥門，計(jì)算漏率；或者用專門的檢測(cè)真空漏氣的儀器來(lái)檢測(cè)；4是真空設(shè)備可能有問(wèn)題了，如果你用擴(kuò)散泵的話，是不是擴(kuò)散泵問(wèn)題，或者用分子泵的話看是不是分子泵問(wèn)題。

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7樓2012-10-08 22:57:57

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sunny_911

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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-10-10 07:49:36

還有啊，平時(shí)你用完之后是否都抽真空將真空室保護(hù)起來(lái)？？

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8樓2012-10-08 23:02:54

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8樓: Originally posted by sunny_911 at 2012-10-08 23:02:54
還有啊，平時(shí)你用完之后是否都抽真空將真空室保護(hù)起來(lái)？？

恩！都抽呢！

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9樓2012-10-09 20:50:03

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wcl871234

新蟲 (初入文壇)

引用回帖:

6樓: Originally posted by Smallpeng at 2012-10-08 17:07:31
負(fù)4已經(jīng)很好了，可能就是腔體進(jìn)水分了，按上面說(shuō)的烘下試試

恩！

10樓2012-10-09 20:53:17

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