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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控濺射高真空抽不下去
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[求助]
磁控濺射高真空抽不下去
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| 我用的沈科儀的磁控濺射系統(tǒng)，換靶后剛開始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的負四時就抽不下去了，我們平常很容易的就能抽到5-6乘以十的負五次的，現(xiàn)在試了幾次都抽不下去，各位大俠覺得可能是什么原因？望多多給建議 |
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王令111
木蟲 (正式寫手)
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5樓2012-10-08 12:24:39
2樓2012-10-08 10:45:44
3樓2012-10-08 10:54:34
4樓2012-10-08 12:10:11
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