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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控濺射高真空抽不下去
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wcl871234新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射高真空抽不下去
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| 我用的沈科儀的磁控濺射系統(tǒng)，換靶后剛開始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的負四時就抽不下去了，我們平常很容易的就能抽到5-6乘以十的負五次的，現(xiàn)在試了幾次都抽不下去，各位大俠覺得可能是什么原因？望多多給建議 |
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sunny_911
新蟲 (初入文壇)
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
蔣青松: 金幣+1, 鼓勵交流 2012-10-09 07:53:25
wcl871234: 金幣+10, ★★★很有幫助 2012-10-09 20:52:20
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wcl871234: 金幣+10, ★★★很有幫助 2012-10-09 20:52:20
| 呵呵～ 我覺得有以下幾種可能：1是有潮氣導致的真空抽不下去；2是你鍍的金屬層在鍍膜室內(nèi)沉積過久，鍍層厚了容易有孔隙積累氣體和潮氣，所以需要定期清理；3是有漏氣的地方，你可以抽到-4級別然后關(guān)閉真空系統(tǒng)和閥門，計算漏率；或者用專門的檢測真空漏氣的儀器來檢測；4是真空設(shè)備可能有問題了，如果你用擴散泵的話，是不是擴散泵問題，或者用分子泵的話看是不是分子泵問題。 |
7樓2012-10-08 22:57:57
2樓2012-10-08 10:45:44
wcl871234
新蟲 (初入文壇)
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3樓2012-10-08 10:54:34
4樓2012-10-08 12:10:11
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