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maiyabc鐵蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于CVD的幾個問題 已有1人參與
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關(guān)于CVD制備薄膜幾個問題求助： 直徑 400mm的K9或石英基底的元件，CVD是否可以制備？CVD能否可以制備高低折射率交替的薄膜？，若制備SiO2，HfO2的薄膜，每層0.2%的沉積厚度控制誤差是否能達(dá)到？ |
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wangdong999
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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- 專業(yè): 固體無機化學(xué)
2樓2014-12-29 11:23:49
wangdong999
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【答案】應(yīng)助回帖
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maiyabc: 金幣+15, ★★★★★最佳答案 2014-12-29 11:29:17
maiyabc: 金幣+15, ★★★★★最佳答案 2014-12-29 11:29:17
| CVD是Chemical Vapor Deposition的簡稱，是指高溫下的氣相反應(yīng)，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳?xì)浠衔锏鹊臒岱纸猓瑲溥�原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術(shù)最初是作為涂層的手段而開發(fā)的，但不只應(yīng)用于耐熱物質(zhì)的涂層，而且應(yīng)用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導(dǎo)體薄膜等，是一個頗具特征的技術(shù)領(lǐng)域。 |
3樓2014-12-29 11:28:59
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