 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 2506 | 回復(fù): 14 | |||
[求助]
臺(tái)階儀與干涉儀的區(qū)別！ 已有7人參與
|
|||
|
現(xiàn)在想測(cè)二氧化鈦膜厚，要經(jīng)常測(cè)量，SEM太貴，制樣麻煩，所以想找個(gè)方便又經(jīng)濟(jì)的方法，翻看了小木蟲以前的貼子，發(fā)現(xiàn)臺(tái)階儀與干涉儀可測(cè)膜厚，但： 1、兩者有啥區(qū)別？臺(tái)階儀好象也是利用光的干涉原理��！ 2、還有制樣是不是都要做臺(tái)階？ 3、另外價(jià)格，我的膜厚大約100－2000nm，用哪種便宜又能達(dá)到我的測(cè)量要求？ 4、還有一個(gè)問題：好象有一種干涉顯微鏡6JA也可以測(cè)膜厚，它與干涉儀又有何不同？ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊(duì)_學(xué)生高自由度成長(zhǎng)_擅長(zhǎng)學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
金屬材料論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有206人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團(tuán)隊(duì)-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊(duì)氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有8人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 自己搭建的光纖馬赫增德爾干涉儀，ASE作為光源，測(cè)干涉時(shí)發(fā)現(xiàn)干涉光譜向長(zhǎng)波長(zhǎng)移動(dòng)？
已經(jīng)有13人回復(fù)
- 關(guān)于超導(dǎo)量子干涉儀
已經(jīng)有14人回復(fù)
- 江湖救急。磁控濺射的膜厚測(cè)量問題！
已經(jīng)有17人回復(fù)
- 求助、求助。謝謝各位——測(cè)電仿薄膜厚度和電仿纖維膜微孔面積測(cè)量
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 請(qǐng)教一個(gè)關(guān)于邁克爾遜干涉儀的問題-異常等傾干涉
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 關(guān)于激光干涉儀和平面反射鏡的使用
已經(jīng)有9人回復(fù)
石銀東
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 139 (高中生)
- 金幣: 6411.1
- 散金: 411
- 紅花: 36
- 帖子: 927
- 在線: 909.6小時(shí)
- 蟲號(hào): 3564733
- 注冊(cè): 2014-11-28
- 專業(yè): 數(shù)論
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lilihot: 金幣+5, ★★★很有幫助 2014-12-23 15:29:04
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lilihot: 金幣+5, ★★★很有幫助 2014-12-23 15:29:04
|
方便又經(jīng)濟(jì)的方法就是薄膜測(cè)厚儀，你說的臺(tái)階儀和干涉儀都屬于其中的分支，只不過兩種測(cè)量原理和方法不一致而已，以下是兩者的區(qū)別： 臺(tái)階儀：采用機(jī)械壓力測(cè)量，檢測(cè)儀器與樣品接觸，屬于破壞性的檢驗(yàn)。 干涉儀：采用光學(xué)原理，非接觸式測(cè)量，屬于無損檢測(cè)，在測(cè)量膜厚的同時(shí)，還可以獲得材料的反射光譜、透射光譜等一系列光學(xué)參數(shù)，而且準(zhǔn)確性高于臺(tái)階儀。 我在膜厚測(cè)量?jī)x器測(cè)量領(lǐng)域4年了，還有疑問的話可以接著提出。 |
2樓2014-12-23 15:00:09
babyoflion
金蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 183 (高中生)
- 金幣: 4776.5
- 散金: 301
- 紅花: 30
- 帖子: 2507
- 在線: 671.9小時(shí)
- 蟲號(hào): 2297725
- 注冊(cè): 2013-02-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 光學(xué)
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lilihot: 金幣+2 2014-12-26 15:35:08
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lilihot: 金幣+2 2014-12-26 15:35:08
| 我還是比較傾向于臺(tái)階儀的準(zhǔn)度高一些！因?yàn)榕_(tái)階儀是從物體臺(tái)階表面接觸表征出來的，是真是的物體表面臺(tái)階再現(xiàn)；而干涉儀或者說得橢偏儀是光學(xué)擬合出來的，擬合的時(shí)候存在較大的不穩(wěn)定性和難以重復(fù)性；襯底稍作改變都會(huì)發(fā)生明顯變化；一個(gè)是摒棄很多因素后數(shù)據(jù)擬合出來的，一個(gè)是實(shí)際測(cè)出來的 ，看你傾向于哪種了？ |
6樓2014-12-23 20:25:20
3樓2014-12-23 15:28:41
石銀東
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 139 (高中生)
- 金幣: 6411.1
- 散金: 411
- 紅花: 36
- 帖子: 927
- 在線: 909.6小時(shí)
- 蟲號(hào): 3564733
- 注冊(cè): 2014-11-28
- 專業(yè): 數(shù)論
4樓2014-12-23 15:32:57
石銀東
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 139 (高中生)
- 金幣: 6411.1
- 散金: 411
- 紅花: 36
- 帖子: 927
- 在線: 909.6小時(shí)
- 蟲號(hào): 3564733
- 注冊(cè): 2014-11-28
- 專業(yè): 數(shù)論
5樓2014-12-23 15:38:28
xiangan315
至尊木蟲 (文壇精英)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 44228.2
- 紅花: 15
- 帖子: 12505
- 在線: 1176小時(shí)
- 蟲號(hào): 573241
- 注冊(cè): 2008-06-13
- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lilihot: 金幣+5 2014-12-26 15:35:32
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lilihot: 金幣+5 2014-12-26 15:35:32
|
臺(tái)階儀式在薄膜厚度起伏處，利用一個(gè)針尖掃過的樣品表面的針尖感受的差別反應(yīng)的厚度信息，一般都是在用確定厚度的標(biāo)準(zhǔn)樣校準(zhǔn)后來測(cè)試未知樣品厚度，厚度信息相對(duì)比較真實(shí)，且對(duì)材料本身的性質(zhì)依賴度不高； 干涉儀類似的則是利用材料本身的光學(xué)性質(zhì)來探測(cè)不同厚度的薄膜，說白了就是和薄膜材料的性質(zhì)有關(guān)，不同工藝的材料會(huì)有差別；建立相關(guān)的薄膜模型，通過后期的擬合獲得厚度信息。是一種不需破壞樣品的無損測(cè)試厚度方法，厚度真實(shí)度依賴于經(jīng)驗(yàn)和方法； 此外，如果要求更高或者發(fā)paper的話，AFM是一個(gè)最為客觀的、也是大家公認(rèn)的直觀表征薄膜厚度的方法，同臺(tái)階儀一樣，樣品上也是需要有臺(tái)階；當(dāng)然，樓主的樣品厚度較大，一般臺(tái)階儀的精度完全勝任。 |
7樓2014-12-23 20:59:20
追夢(mèng)之人
銀蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 16 (小學(xué)生)
- 金幣: 502.9
- 紅花: 2
- 帖子: 74
- 在線: 33.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 2151797
- 注冊(cè): 2012-11-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 化學(xué)環(huán)境污染與健康
8樓2014-12-23 21:48:45
石銀東
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 139 (高中生)
- 金幣: 6411.1
- 散金: 411
- 紅花: 36
- 帖子: 927
- 在線: 909.6小時(shí)
- 蟲號(hào): 3564733
- 注冊(cè): 2014-11-28
- 專業(yè): 數(shù)論
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★
lilihot: 金幣+3 2014-12-26 15:35:49
lilihot: 金幣+3 2014-12-26 15:35:49
|
您說的【臺(tái)階儀準(zhǔn)確度高這一點(diǎn)】，我不知道你從哪得來的這一觀點(diǎn)。 首先，告訴你個(gè)事實(shí)：關(guān)于膜厚儀器，校驗(yàn)機(jī)構(gòu)使用橢偏儀進(jìn)行標(biāo)定，而橢偏儀使用的就是光學(xué)的原理，所以光學(xué)測(cè)量的準(zhǔn)確度當(dāng)然優(yōu)越于臺(tái)階儀。 其次，再說下真實(shí)性的問題，你說臺(tái)階儀測(cè)量是物體表面真實(shí)體現(xiàn)，這一點(diǎn)我很認(rèn)同，但是臺(tái)階儀真實(shí)體現(xiàn)的是被接觸之后的薄膜面貌，誤差較大，與真值偏離較遠(yuǎn)，所以主流測(cè)量使用的是非接觸的。 最后，我再重點(diǎn)說下光學(xué)測(cè)量的真實(shí)性問題，只要是測(cè)量過程就會(huì)出現(xiàn)誤差，怎么將誤差降到最低，得到最佳的真值，這就需要大量的樣品數(shù)據(jù)支持，進(jìn)而進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合，得到真值。 PS：兩者的應(yīng)用范圍 臺(tái)階儀：適用于企業(yè)單位，對(duì)準(zhǔn)確性要求不高，價(jià)格便宜； 干涉儀：適用于高校和研究院所，準(zhǔn)確性較高，價(jià)格較高。 |
9樓2014-12-23 21:59:30
石銀東
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 139 (高中生)
- 金幣: 6411.1
- 散金: 411
- 紅花: 36
- 帖子: 927
- 在線: 909.6小時(shí)
- 蟲號(hào): 3564733
- 注冊(cè): 2014-11-28
- 專業(yè): 數(shù)論
10樓2014-12-23 22:04:46
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 lilihot 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
