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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 合成表征 » 臺階儀與干涉儀的區(qū)別！
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臺階儀與干涉儀的區(qū)別！ 已有7人參與
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現在想測二氧化鈦膜厚，要經常測量，SEM太貴，制樣麻煩，所以想找個方便又經濟的方法，翻看了小木蟲以前的貼子，發(fā)現臺階儀與干涉儀可測膜厚，但： 1、兩者有啥區(qū)別？臺階儀好象也是利用光的干涉原理��！ 2、還有制樣是不是都要做臺階？ 3、另外價格，我的膜厚大約100－2000nm，用哪種便宜又能達到我的測量要求？ 4、還有一個問題：好象有一種干涉顯微鏡6JA也可以測膜厚，它與干涉儀又有何不同？ |
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石銀東
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【答案】應助回帖
★ ★ ★
lilihot: 金幣+3 2014-12-26 15:35:49
lilihot: 金幣+3 2014-12-26 15:35:49
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您說的【臺階儀準確度高這一點】，我不知道你從哪得來的這一觀點。 首先，告訴你個事實：關于膜厚儀器，校驗機構使用橢偏儀進行標定，而橢偏儀使用的就是光學的原理，所以光學測量的準確度當然優(yōu)越于臺階儀。 其次，再說下真實性的問題，你說臺階儀測量是物體表面真實體現，這一點我很認同，但是臺階儀真實體現的是被接觸之后的薄膜面貌，誤差較大，與真值偏離較遠，所以主流測量使用的是非接觸的。 最后，我再重點說下光學測量的真實性問題，只要是測量過程就會出現誤差，怎么將誤差降到最低，得到最佳的真值，這就需要大量的樣品數據支持，進而進行數據擬合，得到真值。 PS：兩者的應用范圍 臺階儀：適用于企業(yè)單位，對準確性要求不高，價格便宜； 干涉儀：適用于高校和研究院所，準確性較高，價格較高。 |
9樓2014-12-23 21:59:30
石銀東
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2樓2014-12-23 15:00:09
3樓2014-12-23 15:28:41
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4樓2014-12-23 15:32:57
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